MEMS技術の応用

MEMSとは「Micro Electro Mechanical Systems」の略で、直訳すると「微小電気機械システム」となります。

半導体のシリコン基板・ガラス基板・有機材料などに、機械要素部品のセンサ・アクチュエータ・電子回路などをひとまとめにしたミクロンレベル構造を持つデバイスを指します。

MEMSと一般の半導体素子との違いは、構造が立体的であり、可動部を有するという点です。しかしMEMSの定義は未だあいまいな状態で、可動構造がないDNAチップなどもMEMSと呼ばれています。機械を微小化すると、小型化はもちろん、資源や消費エネルギーの節約による低コスト化もできるなど、多くのメリットがあります。
MEMSは小型化、省電力化、高機能化、低コスト化が必要な機器には欠かせないデバイスと言えます。

◆応用例
プリンタヘッド（特にインクジェットプリンタ用）
デジタルミラーデバイス（DMD）
圧力センサ
HDDのヘッド
加速度センサ
ジャイロスコープ
DNAチップ
光スイッチ
光スキャナ
ボロメータ型赤外線撮像素子
AFM用カンチレバー
流路モジュール
波長可変レーザ
光変調器

＊引用元：株式会社ジェーイーエルHP

◆レーザーツールとしての応用例
実はこのMEMS技術を応用したレーザープロジェクターも開発されていまして既に市場でも販売されております。
前述したとおりMEMS技術の応用で小型が可能になり、レーザーの持つ高密度エネルギー特性を組み合わせればコンパクトなレーザープロジェクターも可能になります。携帯や収納にも便利になり、様々な可能性が広がりそうです。

画像引用元：ultimems.inc(台湾）